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发明名称
摘要
申请公布号	JP3142289(B2)	申请公布日期	2001.03.07
申请号	JP19900504220	申请日期	1990.03.14
申请人		发明人
分类号	G03F7/00;C08F2/48;G03F7/09;G03F7/11;(IPC1-7):G03F7/00	主分类号	G03F7/00
代理机构		代理人
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