发明名称 宽带隙半导体中的功率器件
摘要 本发明描述了一优选器件,它包括在结隔离衬底或半绝缘衬底(例如碳化硅)上制造的诸如超大功率开关器件的半导体器件。
申请公布号 CN1286806A 申请公布日期 2001.03.07
申请号 CN98806520.7 申请日期 1998.06.23
申请人 小詹姆斯·艾伯特·库珀;迈克尔·R·梅洛奇;贾亚拉玛·谢诺伊;简·斯皮茨 发明人 小詹姆斯·艾伯特·库珀;迈克尔·R·梅洛奇;贾亚拉玛·谢诺伊简·斯皮茨
分类号 H01L29/78;H01L29/739;H01L29/24 主分类号 H01L29/78
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王永刚
主权项 1.功率开关器件,包括:半绝缘衬底;邻近上述半绝缘衬底用来提供漂移区的外延生长层;源,漏和沟道区;上述沟道区上的绝缘层;以及邻近上述绝缘层的栅。
地址 美国印第安纳州