可控制之封盖离形方法及其离形结构

摘要

一种可控制之封盖离形方法及其离形结构。封盖离形结构至少包括：一承载基材、一黏性材料、以及一封盖。黏性材料系涂布于承载基材上。封盖系位于黏性材料之上方，用以接合于一晶圆上。黏性材料系用以控制封盖于晶圆接合后脱离承载基材。