发明名称 method of growing carbon nanotube on Si wafer
摘要
申请公布号 KR100854227(B1) 申请公布日期 2008.08.25
申请号 KR20060135413 申请日期 2006.12.27
申请人 发明人
分类号 B82B3/00;H01L21/20 主分类号 B82B3/00
代理机构 代理人
主权项
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