평판인쇄법을반도체디바이스를제조하는방법

摘要

본 발명은 반도체 디바이스의 제조에 있어서 심자외선 평판 인쇄에 적합한 내식막의 특성을 현저히 향상시키는 삼원 공중합체의 용도에 관한 것이다. 당해 삼원 공중합체는 이산화황, 감산성 단량체, 및 최종 삼원 공중합체에 극성을 부여하는 단량체로부터 형성되는 중합체이다.