发明名称 초대규모 집적 회로를 위한 도전체 트랙 구조
摘要 본 발명은 본질적으로 제 1방향으로 확장된 적어도 2개의 아래의 도전체 트랙 및 상기의 도전체 트랙 위에 제 1방향으로 확장된 적어도 2개의 위의 도전체 트랙을 갖는 대규모 집적 회로를 위한 도전체 트랙의 구성에 관한 것이다. 아래의 도전체 트랙의 각각은 세크먼트를 사이에 갭으로 정의되는 세그먼트들로 세분화된다. 세그먼트들의 각각 중 하나는 상기 하나의 세그먼트위에 배치된 위의 도전체 트랙으로 인도하는 하나의 접촉부를 갖는다. 제 2방향으로 놓여있는 세그먼트들에 인접한 아래의 도전체 트랙들은 적어도 접촉부들중 하나의 접촉부와 여러개의 갭들중 상기의 접촉부의 인접한 하나의 갭을 갖는다.
申请公布号 KR100279954(B1) 申请公布日期 2001.03.02
申请号 KR19920008204 申请日期 1992.05.15
申请人 null, null 发明人 사비그낙,도미니끄;멘케,만프레트;콜하제,아르민;멜츠너,하노
分类号 H01L21/82;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/8242;H01L23/52;H01L23/522;H01L23/528;H01L27/108 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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