| 主权项 |
1.一种排序装置(1),用以排序被储存于卡匣中之晶圆,该装置包含一部分,用以接收至少两卡匣(18,19)及一晶圆输送装置(24),用以移动晶圆进出另一卡匣,其特征在于该接收卡匣之部份系被安排于外壳(2)之中,于外壳中安排有一用以卡匣之储藏间(8)及一卡匣输送装置(25)。2.如申请专利范围第1项所述之排序装置,其中该晶圆输送装置(24)系被安排于一室(22)中,该室可以相对于外壳(2)作密封。3.如申请专利范围第1项所述之排序装置,其中该室(22)包含一量测站(16)可作动地连接至晶圆输送装置。4.如申请专利范围第1项所述之排序装置,其中该用以接收至少两卡匣之部分包含一转台(30)。5.如申请专利范围第1项所述之排序装置,其中该用于卡匣之储藏间(8)包含一可转仓库。6.一种用以组合一批次(部份)晶圆之方法,该等晶圆系被馈送至晶圆处理装置中,该方法包含步骤:放置至少两含晶圆之卡匣与一晶圆输送装置相连接,并使用该晶圆输送装置,以藉由自一卡匣移动晶圆至另一卡匣及反之亦然,以执行一排序操作,其特征在于至少一卡匣系来自一卡匣储藏间,该等卡匣系由该储藏间被由该储藏间移动至外壳内之排序站。7.如申请专利范围第6项所述之方法,包含于排序操作中测试诸晶圆。图式简单说明:第一图a至第一图c显示出依据先前技艺之若干装置;第二图示出依据本发明之排序/储存装置之立体图;及第三图示出依据本发明之各种部份之平面图。 |
