气体中微量不纯物之分析装置

摘要

本发明之目的，在于提供一种将可有效测定各种高纯度气体中之ppb~低ppb水准之微量不纯物之大气压离子化质量分析计与气体色谱仪结合成为一体之结果，可以高效率测定各种高纯度气体中之各种微量不纯物之气中微量不纯物之分析装置者。本发明之装置为具备有气体色谱仪8，及大气压离子化质量分析计6，设有将试料气体导入源所导入之试料气体，直接导入于大气压离子化质量分析计6之系统10，以及藉前述气体色谱仪8而导入于大气压离子化质量分析计6之系统14a,14b之同时，设有将试料气体之流路，转换成为前述两系统中之任何一方用之流路转换装置11,13,15者。

主权项

1.一种气体中微量不纯物之分析装置,其特征为,具备有气体色谱仪与大气压离子化质量分析计,设有将从试料气体导入源所导入之试料气体,直接导入前述大气压离子化质量分析计之系统,以及藉前述气体色谱仪而导入于大气压离子化质量分析计之系统之同时,设有将试料气体之流路,转换成为前述两系统中之任何一方用之流路转换装置者。2.如申请专利范围第1项之气体中微量不纯物之分析装置,其中前述流路转换装置为,具备有将试料气体导入于大气压离子化质量分析计之分析径路,及排出试料气体之清除径路做为试料气体流路之同时,将要使试料气体在前述分析径路流动时及在清除径路流动时之压力成为相等用之压力控制机构或流量控制机构,设在前述清除径路,或清除径路及大气压离子化质量分析计之入口部流路或出口部流路者。图式简单说明:第一图系显示以往之分析装置之一例之系统图。第二图系显示本发明之分析装置之一形态例之系统图。第三图系显示本发明之流路转换装置之其他形态例之系统图。第四图系显示防止本发明之分析系统经转换时之压力变动用之手段之形态例之系统图。