| 主权项 |
1.一种彩色线性图像感测器装置,包括:第一、第二 、及第三线性图像感测器,它们具有相对于入射光 的不同灵敏度,并且从最外面按照灵敏度递减顺序 依次布置;以及一快门闸极和一快门汲极,用来调 整对入射光具有最高灵敏度之线性图像感测器的 曝光量。2.根据申请专利范围第1项之彩色线性图 像感测器装置,还包括:用来改变第一脉冲之脉冲 间隔的装置,该第一脉冲被施加以泄放储存在线性 图像感测器中的电荷,该线性图像感测器对入射于 快门闸极并经由快门闸极到达快门汲极的光具有 最高灵敏度。3.一种用来制造彩色线性图像感测 器装置的方法,该彩色线性图像感测器装置包括: 第一,第二,及第三线性图像感测器,它们具有相对 于入射光的不同灵敏度,并且从最外面的按照灵敏 度递减顺序依次布置;以及一快门闸极和一快门汲 极,用来调整对入射光具有最高灵敏度之线性图像 感测器的曝光量; 该第一,第二,及第三线性图像感测器包括:各个第 一,第二,及第三光侦测器电路,用来将入射光转换 成电荷;各个第一,第二,及第三电荷读取电路,用来 读取由该第一,第二,及第三光侦测器所产生的电 荷;各个第一,第二,及第三电荷转移电路,用与驱动 时钟信号同步的方式来转移由该第一,第二,及第 三电荷读取电路所读取的电荷;各个第一,第二,及 第三信号输出电路,用来将由该第一,第二,及第三 电荷转移电路所转移的电荷转换成电压,并且用来 输出电压;以及第一到第六脉冲线路,用来将两个 驱动时钟信号供应到该第一,第二,及第三电荷转 移电路中的每个电荷转移电路; 该方法包括以下步骤: 利用离子植入法,将P型杂质引入N型半导体基底中, 并在高温时,将被引入P型杂质加以热扩散,以便形 成一P型井区; 利用离子植入法,将N型杂质引入形成第一,第二,及 第三光侦测器电路的预定区域中,然后在高温时, 将被引入N型杂质加以热扩散,以便形成第一N型区; 利用离子植入法,将N型杂质引入形成第一,第二,及 第三电荷转移电路以及快门汲极的预定区域中,然 后在高温时,将被引入N型杂质加以热扩散,以便形 成第二和第三N型区; 在预定区域中,形成:快门闸极,第一,第二,及第三 电荷读取电路,以及第一,第二,及第三电荷转移电 路,使用一种热氧化膜作为绝缘膜;以及 利用离子植入法来引入P型杂质,其中:将多晶矽电 极当作罩幕使用,以便形成一P型区,因而提供与多 晶矽电极自对准的第一,第二,及第三光侦测器电 路。4.一种彩色线性图像感测器装置,包括:针对三 种颜色的第一,第二,及第三线性图像感测器,它们 具有相对于入射光的不同灵敏度,并且从最外面按 照:对入射光之灵敏度是最高的线性图像感测器, 对入射光之灵敏度是最低的线性图像感测器,以及 对入射光之灵敏度是中等的顺序加以布置; 第一快门闸极和第一快门汲极,将它们布署在对入 射光之灵敏度是最高的线性图像感测器处,用来调 整该线性图像感测器的曝光量;以及 第二快门闸极和第二快门汲极,将它们布署在对入 射光之灵敏度是中等的线性图像感测器处,用来调 整该线性图像感测器的曝光量。5.根据申请专利 范围第4项之彩色线性图像感测器装置,其中对于 入射光之灵敏度为最高的该线性图像感测器包括: 第一光侦测器电路,用来将入射光转换成电荷;第 一电荷读取电路,用来读取由该第一光侦测器电路 所产生的电荷;第一电荷转移电路,用与第一和第 二驱动时钟信号同步的方式来转移由该第一电荷 读取电路所读取的电荷;第一信号输出电路,用来 将由该第一电荷转移电路所转移的电荷转换成电 压,并且用来输出电压;以及第一和第二脉冲线路, 用来将该第一和第二驱动时钟信号供应到该第一 电荷转移电路; 且其中对入射光之灵敏度为最低的该线性图像感 测器以及对入射光之灵敏度是中等的线性图像感 测器包括:各个第二和第三光侦测器电路,用来将 入射光转换成电荷;各个第二和第三电荷读取电路 ,用来读取由该第二和第三光侦测器电路所产生的 电荷;第二电荷转移电路,用与第二和第三驱动时 钟信号同步的方式来转移由该第二和第三电荷读 取电路所读取的电荷;第二信号输出电路,用来将 由该第二电荷转移电路所转移的电荷转换成电压, 并且用来输出电压;以及第三脉冲线路,用来将该 第三驱动时钟信号供应到该第二电荷转移电路; 该第二电荷转移电路、该信号输出电路、以及该 第一和第三脉冲线路均系由对入射光之灵敏度是 最低的该线性图像感测器以及对入射光之灵敏度 是中等的该线性图像感测器所共享。6.根据申请 专利范围第4项之彩色线性图像感测器装置,还包 括:用来改变第一脉冲之脉冲间隔以及第二脉冲之 脉冲间隔的装置;该第一脉冲被施加以泄放储存在 线性图像感测器中的电荷,该线性图像感测器对入 射于第一快门闸极,并经由第一快门闸极到达第一 快门汲极的光具有最高灵敏度;而该第二脉冲被施 加以泄放储存在对入射于第二快门闸极,并经由第 二快门闸极到达第二快门汲极的光具有中等灵敏 度的线性图像感测器中的电荷。 该第二脉冲则被施加用来泄放储存在对入射光具 有中等灵敏度之线性图像感测器中的电荷,并供应 到该第二快门闸极,将该电荷经由该第二快门闸极 泄放到该第二快门汲极。7.一种用来制造彩色线 性图像感测器装置的方法,该装置包括:针对三种 颜色的第一、第二、及第三线性图像感测器,它们 具有相对于入射光的不同灵敏度,并且从最外面按 照;对入射光之灵敏度是最高的线性图像感测器; 对入射光之灵敏度是最低的线性图像感测器,以及 对入射光之灵敏度是中等的顺序加以布置;第一快 门闸极和第一快门汲极,将它们布署在对入射光之 灵敏度是最高的线性图像感测器处,用来调整该线 性图像感测器的曝光量;以及第二快门闸极和第二 快门汲极,将它们布署在对入射光之灵敏度是中等 的线性图像感测器处,用来调整该线性图像感测器 的曝光量; 其中,对于入射光之灵敏度是最高的该线性图像感 测器包括:第一光侦测器电路,用来将入射光转换 成电荷;第一电荷读取电路,用来读取由该第一光 侦测器电路所产生的电荷;第一电荷转移电路,用 与第一和第二驱动时钟信号同步的方式来转移由 该第一电荷读取电路所读取电荷;第一信号输出电 路,用来将由该第一电荷转移电路所转移的电荷转 换成电压,并且用来输出电压;以及第一和第二脉 冲线路,用来将该第一和第二驱动时钟信号供应到 该第一电荷转移电路; 且其中,对入射光之灵敏度是最低的该线性图像感 测器以及对入射光之灵敏度是中等的线性图像感 测器包括:各个第二和第三光侦测器电路,用来将 入射光转换成电荷;各个第二和第三电荷读取电路 ,用来读取由该第二和第三光侦测器电路所产生的 电荷;第二电荷转移电路,用与第二和第三驱动时 钟信号同步的方式来转移由该第二和第三电荷读 取电路所读取的电荷;第二信号输出电路,用来将 由该第二电荷转移电路所转移的电荷转换成电压, 并且用来输出电压;以及第三脉冲线路,用来将该 第三驱动时钟信号供应到该第二电荷转移电路;该 第二电荷转移电路,该信号输出电路,以及该第一 和第三脉冲线路都是由对入射光之灵敏度是最低 的该线性图像感测器以及对入射光之灵敏度是中 等的该线性图像感测器所共享; 该方法包括以下步骤: 利用离子植入法,将P型杂质引入N型半导体基底中, 并在高温时,将被引入P型杂质加以热扩散,以便形 成一P型井区; 利用离子植入法,将N型杂质引入形成第一,第二,及 第三光侦测器电路的预定区域中,然后在高温时, 将被引入N型杂质加以热扩散,以便形成一N型区; 利用离子植入法,将N型杂质引入形成第一,第二,及 第三电荷转移电路以及快门汲极的预定区域中,然 后在高温时,将被引入N型杂质加以热扩散,以便形 成一些N型区; 在预定区域中,形成:快门闸极,第一,第二,及第三 电荷读取电路,以及第一,第二,及第三电荷转移电 路,使用一种热氧化膜作为绝缘膜;以及 利用离子植入法来引入P型杂质,其中:将多晶矽电 极当作罩幕使用,以便形成一P型区,因而提供与多 晶矽电极自对准的第一,第二,及第三光侦测器电 路。图式简单说明: 第一图是:显示一种传统式彩色线性图像感测器的 整体布置之一视图; 第二图是:显示一种显示于第一图中之传统式彩色 线性图像感测器的详细结构之一视图; 第三图A是:表示一种用来驱动显示于第一图中之 传统式彩色线性图像感测器的时序之一时序图,该 驱动方法是改变相对于各个颜色之电荷储存时间, 而不是取决于入射光量来改变曝光量; 第三图B为一时序图,显示一种用来驱动第一图所 示传统式彩色线性图像感测器的时序,该驱动方法 并非藉由改变对于各个颜色之电荷之入射光来调 整曝光量,而是藉由改变对于各个颜色之电荷储存 时间来调整曝光量。 第四图是:显示另一种传统式彩色线性图像感测量 的整体布置之一视图; 第五图是:表示一种用来驱动显示于第四图中之传 统式彩色线性图像感测器的时序之一时序图; 第六图是:显示一种根据本发明之第一实施例的彩 色线性图像感测器装置的整体布置之一视图; 第七图是:显示于第六图中之彩色线性图像感测器 装置之一区域之一放大视图,该区域是如虚线所指 示的X1; 第八图是:显示曝光量与输出电压之间的关系之一 示意图; 第九图是:显示于第七图中之彩色线性图像感测器 装置的放大区域之一片断图; 第十图是:沿着第七图之直线A-A'所采取之一片断 横截面图,也显示反种区域,一通道电位,以及电荷Q ; 第十一图A到第十一图E都是:显示一种用来制造显 示于第十图中的彩色线性图像感测器装置的方法 之诸连续步骤之片断横截面图; 第十二图是:显示电荷在根据本发明之第一实施例 的彩色线性图像感测器装置的各种区域中移动的 方式之一视图; 第十三图A到第十三图C都是:显示在根据本发明之 第一实施例的彩色线性图像感测器装置中的各种 时期中所产生的脉冲之示意图; 第十四图A,第十四图B,及第十四图C都是:显示一种 用来驱动根据本发明之第一实施例的彩色线性图 像感测器装置的时序之时序图; 第十五图是:显示根据本发明之第二实施例的彩色 线性图像感测器装置的整体布置之一视图; 第十六图是:显示于第十五图中之彩色线性图像感 测器装置的两个区域之一放大视图,该区域就是如 虚线所指示的X2,X3; 第十七图是:沿着第十六图之直线B-B'所采取之一 片断横截面图,也显示各种区域,一通道电位,以及 电荷Q; 第十八图A到第十八图E都是:显示一种用来制造显 示于第十七图中的彩色线性图像感测器装置的方 法之诸连续步骤之片断横截面图; 第十九图是:显示电荷在根据本发明之第二实施例 的彩色线性图像感测器装置的各种区域中移动方 式之一视图; 第二十图A到第二十图C都是:显示在根据本发明之 第二实施例的彩色线性图像感测器装置中的各种 时期中所产生的脉冲之示意图; 第二十一图A,第二十一图B,及第二十一图C都是:显 示一种用来驱动根据本发明之第二实施例的彩色 线性图像感测器装置的时序之时序图。 |
