Verfahren zur Herstellung einer Torsionsfeder

摘要

Zur Herstellung einer Silicium-Torsionsfeder, über die beispielsweise die Drehrate bei einem mikrostrukturierten Torsionsfeder-Masse-System ausgelesen werden kann, wobei eine niedrige Torsionssteifigkeit im Vergleich zu einer relativ hohen Quersteifigkeit in lateraler und vertikaler Richtung angestrebt wird, wird gemäß Erfindung von einem Wafer beziehungsweise Waferverbund ausgegangen und nach entsprechender Maskenabdeckung durch anisotropisches naßchemisches Ätzen eine Feder mit V-förmigen Querschnitt erzeugt, die sich vorzugsweise über die gesamte Waferdicke erstreckt und lateral nur durch 111F-Flächen begrenzt ist. Zwei der so vorstrukturierten Wafer beziehungsweise Waferverbunde werden um 180 gedreht und spiegelbildlich aufeinander ausgerichtet miteinander verbondet, so daß insgesamt der angestrebte X-förmige Querschnitt entsteht. DOLLAR A Als bsonderer Vorteil der Erfindung ergibt sich, daß die Herstellungstechnologie für die lateral- und vertikalsteife Drehfeder vergleichsweise einfach ist.