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经营范围
发明名称
Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats, insbesondere mit elektrisch nichtleitenden Schichten
摘要
申请公布号
DE4138793(C2)
申请公布日期
2001.03.01
申请号
DE19914138793
申请日期
1991.11.26
申请人
BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG
发明人
SZCZYRBOWSKI, JOACHIM;TESCHNER, GOETZ;BRAEUER, GUENTER
分类号
C23C14/00;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35;C23C14/06
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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