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<p>L'invention concerne une composition d'agent de gravure pour résines polyimide laquelle contient les ingrédients suivants (A) 5 à 67 % en poids d'hydroxyde d'ammonium quaternaire, (B) 3 à 85 % en poids d'un solvant à alcool et (C) 10 à 70 % en poids d'eau. Lorsqu'elle est utilisée pour graver même une résine polyimide comportant des unités dérivées d'un dianhydride biphényltétracarboxylique en tant qu'ingrédient acide, la composition d'agent de gravure atteint un taux de gravure pratique et une précision de gravure satisfaisante sans crainte de contamination par des ions métalliques alcalins, des ions halogène ou des métaux lourds et sans utiliser d'ingrédient hautement toxique tel que l'éthylènediamine.</p> |
