发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung mit Isolierzonen
摘要
申请公布号 DE69231653(D1) 申请公布日期 2001.03.01
申请号 DE1992631653 申请日期 1992.09.14
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 NISHIO, NOBUYA
分类号 H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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