| 发明名称 |
Vorrichtung zum Ausbringen einer Flüssigkeit |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19753286(C2) |
申请公布日期 |
2001.03.01 |
| 申请号 |
DE19971053286 |
申请日期 |
1997.12.01 |
| 申请人 |
STEAG MICROTECH GMBH |
发明人 |
BOOS, ROBERT;MUELLER, UWE |
| 分类号 |
B65D83/00;B67D1/10;B67D7/02;F04B43/02;F04B43/08;(IPC1-7):B67D5/46;F04B13/00;H01L21/306 |
主分类号 |
B65D83/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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