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发明名称
STROMLOSES AUFBRINGEN VON METALLFILMEN MIT SPRAYPROZESSOR
摘要
申请公布号
DE69608669(T2)
申请公布日期
2001.03.01
申请号
DE19966008669T
申请日期
1996.12.18
申请人
FSI INTERNATIONAL, CHASKA;CORNELL RESEARCH FOUNDATION, INC.
发明人
SHACHAM-DIAMAND, YOSI;NGUYEN, VINH;DUBIN, VALERY
分类号
C23C18/31;C23C18/16;C23C18/32;C23C18/38;C23C18/40;C23C18/44;H01L21/288;(IPC1-7):C23C18/16
主分类号
C23C18/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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