| 摘要 |
<p>Es werden ein Verfahren und eine Schaltungsanordnung (10) zum Bewerten von Kapazitäten (11) beschrieben. Um eine hochgenaue, Mißmatch-fehlerfreie Bewertung auch von kleinen Kapazitäten vornehmen zu können, ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß zunächst ein erster, in einen Strom umgesetzter Kapazitätswert in einem Meßzweig (20) der Schaltungsanordnung (10), der eine Reihe von Parasitärkapazitäten (Cp1, Cp2) aufweist, gemessen wird, wobei durch einen zweiten Zweig (30) der Schaltungsanordnung (10) ein erster Betriebsmodus (Modus A) eingestellt wird, in dem nur die im Meßzweig (20) befindlichen Parasitärkapazitäten (Cp1, Cp2) bewertet werden. Anschließend wird ein zweiter in einen Strom umgesetzter Kapazitätswert im gleichen Meßzweig (20) der Schaltungsanordnung (10) gemessen, wobei durch den zweiten Zweig (30) der Schaltungsanordnung (10) ein zweiter Betriebsmodus (Modus B) eingestellt wird, in dem die Summe aus zu bewertender Kapazität (11) und der im Meßzweig (20) befindlichen Parasitärkapazitäten (Cp1, Cp2) bewertet wird. Danach wird die zu bewertende Kapazität (11) durch Differenzbildung der in Modus A und Modus B in ein und demselben Meßzweig (20) gemessenen Werte bestimmt.</p> |
