| 发明名称 |
COMPOSICION LIMPIADORA ALCALINA QUE CONTIENE UN AGENTE TENSIOACTIVO NO IONICO CON PH AJUSTADO PARA LA LIMPIEZA DE SUSTRATOS MICROELECTRONICOS. |
| 摘要 |
SOLUCIONES DE LIMPIEZA ALCALINAS ACUOSAS PARA LIMPIAR SUSTRATOS MICROELECTRONICOS Y MANTENER LA SUAVIDAD DE LA SUPERFICIE DEL SUSTRATO QUE CONTIENE UNA BASE SIN IONES METALICOS, UN SURFACTANTE NO IONICO Y UN COMPONENTE PARA REDUCIR O CONTROLAR EL PH DE LA SOLUCION DE LIMPIEZA A UN PH ENTRE 8 APROXIMADAMENTE Y 10 APROXIMADAMENTE.
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| 申请公布号 |
ES2153442(T3) |
申请公布日期 |
2001.03.01 |
| 申请号 |
ES19950105743T |
申请日期 |
1995.04.18 |
| 申请人 |
MALLINCKRODT BAKER, INC. |
发明人 |
ILARDI, JOSEPH M.;SCHWARTZKOPF, GEORGE,;DAILEY, GARY G. |
| 分类号 |
C11D10/02;C11D1/66;C11D3/02;C11D3/30;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):C11D3/30;C11D3/20;C11D1/74;C11D1/72 |
主分类号 |
C11D10/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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