发明名称 WET PROCESSING METHODS FOR THE MANUFACTURE OF ELECTRONIC COMPONENTS
摘要
申请公布号 EP1078394(A1) 申请公布日期 2001.02.28
申请号 EP19990920316 申请日期 1999.05.04
申请人 CFMT, INC. 发明人 VERHAVERBEKE, STEVEN;MCCONNELL, CHRISTOPHER, F.;MYLAND, LAWRENCE, J.
分类号 B08B3/04;B08B11/00;H01L21/302;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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