| 摘要 |
입사한 X선을 검출하는 복수의 검출 화소가 배열된 X선 검출부가 한쪽의 면(11)측에 마련되며, 다른쪽의 면(12)이 X선 입사면으로 되어 있는 이면입사형의 고체촬상소자(10)와, 촬상소자(10)의 입사면(12)상에 마련되어 검출대상이 되는 X선보다 장파장의 광의 차폐에 이용되는 차폐층(20)에 의해서 X선 촬상장치(1)를 구성한다. 차폐층(20)은, 입사면(12)상에 직접 마련되는 제1 알루미늄층(21)과, 제1 알루미늄층(21)상에 마련되는 제2 알루미늄층(22)과, 제1, 제2 알루미늄층(21, 22)의 사이에 마련되어 자외광의 차폐에 이용되는 자외광 차폐층(25)을 가진다. 이것에 의해, X선 검출에 있어서의 노이즈 광의 검출의 영향을 억제하는 것이 가능한 X선 촬상장치가 실현된다. |
