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发明名称
PLANAR RESIST STRUCTURE, ESPECIALLY AN ENCAPSULATION FOR ELECTRIC COMPONENTS AND A THERMOMECHANICAL METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号
EP1078454(A1)
申请公布日期
2001.02.28
申请号
EP19990932628
申请日期
1999.05.05
申请人
EPCOS AG
发明人
FUERBACHER, BRUNO
分类号
G03F7/004;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/56;H03H3/08;H03H9/05;(IPC1-7):H03H9/05
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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