| 发明名称 |
Substrate coated with antihalation composition and method for treating said substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0542008(B2) |
申请公布日期 |
2001.02.28 |
| 申请号 |
EP19920118070 |
申请日期 |
1992.10.22 |
| 申请人 |
SHIPLEY COMPANY INC. |
发明人 |
THACKERAY, JAMES W.;ORSULA, GEORGE W. |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/038;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/11;G03F7/40 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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