粒状多层磁致电阻器件的制造方法

摘要

本发明提供一种制造粒状多层磁致电阻传感器的方法，其特征在于包括下列步骤：在适当的基片上沉积多个双层材料，每个双层材料包括第一层非磁性导电材料和第二层铁磁性材料；以及在预定的温度下对所得多层器件退火，在所述退火期间每个所述第二铁磁性材料分裂成多个铁磁性颗粒，所述第一层中的所述非磁性材料流进所述铁磁性颗粒之间和周围。$#!

主权项

1．一种制造粒状多层磁致电阻器件的方法，其特征在于，它包括下列步骤：在适当的基片上沉积多个双层材料，每个所述双层材料包括第一层非磁性导电材料和第二层铁磁性材料；以及在预定的温度下对所得多层器件退火，在所述退火期间每个所述第二层铁磁性材料分裂成多个铁磁性颗粒，所述第一层中的所述非磁性导电材料流进所述铁磁性颗粒之间和周围。