磁记录媒体的制造方法

摘要

一种低价格、高密度、不需用昂贵的强磁性金属层,就可提高矫顽磁力的磁记录媒体,其在基体表面上通过金属底层来形成强磁性金属层并使用磁化反转的磁记录媒体。其强磁性金属层的氧浓度是在100ppm(重量)以下,另外其金属底层的氧浓度为100ppm以下。一种制造磁记录媒体的方法,在基体表面上利用溅射法依次形成金属底层和强磁性金属层,成膜时所用的Ar气的杂质浓度为10ppb,在形成上述金属层之前,用杂质浓度为10ppm的Ar气,以高频溅射法对上述基体表面进行清洁处理,使上述基体的表面被除掉0.2～1nm。

主权项

权利要求书1、一种磁记录媒体的制造方法，其在基体表面利用溅射法来形成强磁性金属层，其特征在于，其成膜时所用的Ar气的杂质浓度为10ppb以下。