TEST DEVICE FOR CALIBRATING A LASER DEVICE

摘要

펄스형 레이저 방사선을 제공하는 레이저 장치(12)의 펄스 에너지를 교정하기 위한 테스트 장치는 다수의 측정 탐침(30)을 갖는 측정 헤드(20)를 포함한다. 테스트 장치는 레이저 방사선에 의해 다수의 테스트 절제가 측정 탐침의 상대적인 공간 배치에 대응하는 배치로 테스트 표면(28)상에서 이루어지고 그후 테스트 절제의 깊이가 측정 헤드의 다수의 측정 탐침의 동시적인 사용에 의해 측정되는 방식으로 사용된다.