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发明名称
INSULATING CERAMIC COATED METALLIC PART IN A PLASMA SPUTTER REACTOR
摘要
申请公布号
KR20010015664(A)
申请公布日期
2001.02.26
申请号
KR1020007003378
申请日期
2000.03.29
申请人
发明人
分类号
H01J37/34
主分类号
H01J37/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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