| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON STRUKTUREN IN CHIPS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT4149(U1) |
申请公布日期 |
2001.02.26 |
| 申请号 |
AT19990000841U |
申请日期 |
1999.12.03 |
| 申请人 |
AUSTRIA MIKRO SYSTEME INTERNATIONAL AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/033;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/32 |
主分类号 |
H01L21/033 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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