ACTUATOR COMPONENT FOR A MICROSPRAY AND ITS PRODUCTION PROCESS

摘要

Ein Aktorbauglied für einen piezoelektrisch betriebenen Mikrozerstäuber umfasst eine in einem Halbleitersubstrat (10) gebildete Membran (12), einen auf einer Oberfläche der Membran (12) angeordneten piezoelektrischen Aktor, durch den die Membran (12) in Schwingungen versetzbar ist, und eine in dem Halbleitersubstrat gebildete Kanaleinrichtung (14) zum Zuführen einer zu zerstäubenden Flüssigkeit von einem Einlassende zu der dem piezoelektrischen Aktor gegenüberliegenden Oberfläche der Membran. Ein Mikrozerstäuber unter Verwendung eines derartigen Aktorbauglieds umfasst eine Halterung, an der das Aktorbauglied derart fixiert ist, dass das Einlassende fluidmässig mit einer Flüssigkeitszuführungsleitung verbunden ist, dass die Kanaleinrichtung mit Ausnahme einer fluidmässigen Verbindung derselben mit der Flüssigkeitszuführungsleitung und der dem piezoelektrischen Aktor gegenüberliegenden Oberfläche der Membran durch die Halterung abgedichtet ist, und dass im Bereich der dem piezoelektrischen Aktor gegenüberliegenden Oberfläche der Membran eine Öffnung der Halterung zum Ausstoss der zerstäubten Flüssigkeit vorgesehen ist.