发明名称 METHOD FOR PRODUCING A MAGNETIC TUNNEL CONTACT AND MAGNETIC TUNNEL CONTACT
摘要 Beschrieben wird hier ein Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Tunnelkontakts, bei dem auf eine erste ferromagnetische Schicht (1) eine Metallschicht abgelagert und zur Erzeugung einer Isolationsschicht (3) oxidiert wird, und auf der Isolationsschicht (3) eine zweite ferromagnetische Schicht (2) erzeugt wird, wobei die Oxidation der Metallschicht durch UV-Licht unterstützt wird.
申请公布号 WO0113387(A1) 申请公布日期 2001.02.22
申请号 WO2000EP07012 申请日期 2000.07.21
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH;KOHLSTEDT, HERMANN;ROTTLAENDER, PETER 发明人 KOHLSTEDT, HERMANN;ROTTLAENDER, PETER
分类号 G01R33/09;G11B5/39;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/22;H01L43/08;H01L43/12;(IPC1-7):H01F41/30;H01F10/32 主分类号 G01R33/09
代理机构 代理人
主权项
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