发明名称 Wafer, der mit Schaltungsmustern vorgesehen ist und verbesserte Planarisierungseigenschaften aufweist, und ein Herstellungsverfahren eines entsprechenden Wafers
摘要
申请公布号 DE19756527(C2) 申请公布日期 2001.02.22
申请号 DE1997156527 申请日期 1997.12.18
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 MOTONAMI, KAORU;AMO, ATSUSHI;DOI, HIDEKI;KIMURA, MASATOSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L23/52;H01L27/108;H01L27/118;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/824 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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