发明名称 Verfahren zur Bewertung der Sauerstoffkonzentration in halbleitendem monokristallinem Silizium
摘要
申请公布号 DE69703901(D1) 申请公布日期 2001.02.22
申请号 DE19976003901 申请日期 1997.02.12
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 YOSHIDA, TOMOSUKE;KITAGAWARA, YUTAKA
分类号 G01N21/64;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/64 主分类号 G01N21/64
代理机构 代理人
主权项
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