| 主权项 |
1.一种超清净空气之制造方法,其为利用深冷分离型之氮制造装置制造超清净空气之方法,其特征为令大气所采集之原料空气,使用氮制造装置所产生之寒冷能量冷却至-60℃~180℃,并且于该低温条件下,经由以吸附剂进行低温吸附处理,将原料空气所含之氮、氧、稀有气体以外之化学成分吸附除去。2.如申请专利范围第1项所述之超清净空气之制造方法,其中令超清净空气制造中使用吸附剂之再生处理系使用氮制造装置中生成之气体进行。3.如申请专利范围第1项或第2项所述之超清净空气之制造方法,其中使用氮制造装置中由精馏塔经过膨胀机朝向主热交换器之低温气体,令原料空气冷却至-60℃--180℃。4.如申请专利范围第1项所述之超清净空气之制造方法,其中令原料空气经由低温吸附处理,取得化学成分之浓度为1ppb以下且露点为-100℃以下之超清净空气。5.如申请专利范围第1项所述之超清净空气之制造方法,其中将化学成分分成凝固温度近似之复数的化学成分群,并且将低温吸附处理工程,分成各处理温度为以高于各化学成分群之凝固温度范围附近之温度且相当于化学成分群数目之吸附工程,并经由令此些吸附工程由处理温度高者开始依序进行,使得各化学成分群中由凝固温度范围高者开始阶段地被吸附除去。6.如申请专利范围第1项所述之超清净空气之制造方法,其中使用-60℃~-180℃之温度条件下将氮优先地选择吸附者作为吸附剂。7.如申请专利范围第1项所述之超清净空气之制造方法,其中于低温吸附处理前,预先施以将原料空气之化学成分中至少之二氧化碳气体及水分除去之前处理。8.一种超清净空气之制造装置,其为并设于深冷分离型氮制造装置之超清净空气的制造装置,其特征为具备令大气所采集之原料空气使用氮制造装置所产生寒冷能量冷却至-60℃~-180℃之冷却装置,及于该低温条件下经由吸附剂进行低温吸附处理,将原料空气中所含之氮、氧、稀有气体以外之化学成分吸附除去之低温吸附处理装置。9.如申请专利范围第8项所述之超清净空气之制造装置,其中冷却装置为具备经由与氮制造装置中由精馏塔经过膨胀机朝向主热交换器之低温气体的热交换,而令低温吸附处理装置所得之超清净空气予以冷却之寒冷源热交换器,及经由与寒冷源热交换器中所冷却之超清净空气的热交换,令原料空气冷却至-60℃~-180℃之热交换器。10.如申请专利范围第8项或第9项所述之超清净空气之制造装置,其中更具备原料空气施以至少二氧化碳气体及水分之除去处理的前处理装置。图式简单说明:第一图示出本发明超清净空气之制造装置之一例系统图。第二图第一图之主要部分(深冷分离型之氮制造装置)之放大图。第三图第一图之其他主要部分(超清净空气之制造装置)之放大图。第四图示出本发明超清净空气之制造装置之修饰例的系统图第五图示出本发明超清净空气之制造装置之另外的修饰例之系统图。第六图第五图之主要部分(深冷分离型之氮制造装置)之放大图。第七图第五图之其他主要部分(超清净空气之制造装置)之放大图。第八图示出实验装置之系统图。 |
