发明名称 生产预估管理系统
摘要 一程序计划单元2,可依据一作业计划单元l之作业计划,来产生一程序计划。一工作计划单元3,可依据彼等作业计划和程序计划,来产生一工作计划。由于彼等作业计划和工作计划之每一计划,均系继承及使用其来自程序计划之模拟结果,其将可得到一一致性之计划。此外,一计划工作管理单元4,可检核彼等作业计划、程序计划、和其实际结果与彼等作业计划和程序计划间之比较结果,可澄清其实际结果与彼等计划间之差异的问题原因,以及可迅速做出一恢复计划。
申请公布号 TW422954 申请公布日期 2001.02.21
申请号 TW088105687 申请日期 1999.04.09
申请人 富士通股份有限公司 发明人 寺西由春;小川一;成田善一;松目敏幸;野村贤
分类号 G06F17/60;H01L21/00 主分类号 G06F17/60
代理机构 代理人 恽轶群 台北巿南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北巿南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种生产预估管理系统,其包含: 一作业计划单元,其可使用一特定演算法和参数, 来设定一长期之作业计划; 一程序计划单元,其可使用上述作业计划单元之作 业计划所用之演算法和参数,来产生一立即之程序 计划; 一工作计划单元,其可使用彼等作业计划和程序计 划所用之演算法和参数,来产生一短期之工作计划 ; 一计划工作管理单元,其可用以使一基于上述作业 计划、程序计划、和工作计划所执行之实际结果, 与其作业计划或程序计划做比较,以及可在一比较 结果指示有一问题时,修正彼等之计划。2.如申请 专利范围第1项所申请之系统,其中之作业计划可 与其程序计划做比较,以及其作业计划或程序计划 可依需要而改变。3.如申请专利范围第1项所申请 之系统,其中之作业计划单元所执行之作业计划包 含:一星期至数月左右之一进料计划、彼等移动目 标、一周转率目标、和一出货量目标。4.如申请 专利范围第1项所申请之系统,其中之程序计划单 元所执行程序计划,系与一轮班至数日有关之程序 量和命令相关联。5.如申请专利范围第1项所申请 之系统,其中之工作计划单元所执行工作计划,系 与每一程序步骤中即时之批料和设备的指派相关 联。6.如申请专利范围第1项所申请之系统,其中尚 包含: 一进度支援资讯产生单元,其可基于彼等作业计划 单元或程序计划单元所产生之程序计划,将一材料 使用计划和一设备维修计划,分派给相关之部门。 7.如申请专利范围第1项所申请之系统,其中,当在 一实际结果与彼等作业计划或程序计划间,或者在 彼等作业计划与程序计划间,有一问题存在时,可 发出一警示讯号。8.如申请专利范围第1项所申请 之系统,其中之演算法,系论及一种可就其系统内 之每一设备选择一新批料的程序,其可决定同一标 线片之使用频率是否超过一上限,以及当该同一标 线片之使用频率超过了其上限时,一使用该标线片 之批料将不被选定。9.如申请专利范围第1项所申 请之系统,其中之演算法,系论及一种可就其系统 内之每一设备选择一新的批料的程序,以及可依优 先权处理一正处于一重要层阶段之批料。10.如申 请专利范围第1项所申请之系统,其中,一批料之程 序位置,系依据工厂追踪资料之解析度来预估。11. 如申请专利范围第1项所申请之系统,其中之产能 资料可依据一新产品资讯自动产生。12.如申请专 利范围第1项所申请之系统,其中,其一周期早期阶 段所做成之作业计划有关之资料,将会与当前之资 讯做比较,当一比较结果表示有一差异时,则会有 一自目前点至该周期结束的作业预测自动做出,以 及当一初步设定之容许値被超过时,将会有一警示 讯号自动发出。13.一种生产预估管理方法,其包含 之步骤有: 设定一长期之作业计划; 基于此作业计划产生一中期之程序计划; 基于彼等作业计划和程序计划,产生一短期之工作 计划; 使一基于其程序计划所执行之实际结果,和其依据 作业计划所成之工作计划,与彼等计划做比较;以 及 若一比较结果指示有一问题时,修正该问题。14.如 申请专利范围第13项所申请之方法,其中,一材料使 用之计划,和一设备维修之计划,系基于彼等之作 业计划和程序计划,分派给彼等相关之部门。15.如 申请专利范围第13项所申请之方法,其中,一批料之 程序步骤位置,系依据工厂追踪资料之解析度来预 估。16.如申请专利范围第13项所申请之方法,其中 之产能资料可依据一新产品资讯自动产生。17.如 申请专利范围第13项所申请之方法,其中,其一周期 早期阶段所做成之作业计划有关之资料,将会与当 前之资讯做比较,当一比较结果表示有一差异时, 则会有一自目前点至该周期结束的作业预测自动 做出,以及当一初步设定之容许値被超过时,将会 有一警示讯号自动发出。18.一种可用以储存一程 式之电脑可读取储存媒体,该程式系用来指导一电 脑执行以下之功能: 设定一长期之作业计划; 基于此作业计划产生一中期之程序计划; 基于彼等作业计划和程序计划,产生一短期之工作 计划; 使一基于其程序计划所执行之实际结果,和其依据 作业计划所成之工作计划,与彼等计划做比较;以 及 若一比较结果指示有一问题时,修正该问题。图式 简单说明: 第一图A系显示一依本发明所制生产预估管理系统 之基本组态; 第一图B系显示其使用一电脑之系统组态; 第二图系上述生产预估管理系统之方块图; 第三图A系显示一半导体工厂之每一区和每一区内 之设备; 第三图B系显示上述生产预估管理系统之每一计划 的概要; 第四图系显示其作业计划单元之程序步骤; 第五图系一可显示其程序计划单元所执行程序作 业的流程图; 第六图系一可显示一执行于一预定周期下之工作 计划的产生的流程图; 第七图系一可显示一周期性程序之外,一设备之状 态有改变时,所执行一程序计划之流程图; 第八图系一可显示一设备之状态和一程序状态有 改变时,所执行一程序计划之流程图; 第九图系一可显示彼等作业计划与程序计划之比 较程序,及可显示上述作业计划与其结果或上述程 序计划与其结果的比较程序之流程图; 第十图系显示彼等作业计划与程序计划间之一异 常状况; 第十一图系一可显示上述程序计划与其结果、和 上述作业计划与其结果间之异常状况; 第十二图系一可显示本发明之第二实施例的流程 图; 第十三图系一可显示本发明之第二实施例的流程 图; 第十四图系显示一设备内之标线片(reticle)库,和其 可执行同一程序之标线片的上限; 第十五图系显示一基于选定批料来改变一标线片 之范例; 第十六图系一可显示本发明之第三实施例的流程 图; 第十七图系一可显示本发明之第三实施例的流程 图; 第十八图系显示彼等程序步骤等之平均数目; 第十九图系显示第四实施例中所用设备之内容,设 备之类型、工作站、一设备之名称、一处方之名 称、和彼等程序之能力间的关系; 第二十图系显示其处理一批料之步骤; 第二十一图系一可显示一依据本发明第四实施例 之程序的作业流程图; 第二十二图系一可显示一依据本发明第五实施例 之程序的作业流程图;而 第二十三图则系显示本发明使用一储存媒介之组 态。
地址 日本
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