机械手臂同心式内外轴传动方法及装置

摘要

本项专利为机械手臂同心式内外轴传动装置，可应用于半导体晶圆及平面显示器基材输送用之真空与大气机械手臂等设备上，本发明重点与特色如下：l.本创新装置为同心式内外轴传动机构设计，可提供以单一伺服致动模组驱动受控机械成两个自由度运动之功能特性。2.与传动两个自由度运动之传动机构比较，本装置可减少一组伺服致动模组，使得成本降低，并减少机构所需空间。3.本装置可做360度之回转，可依据运动指令做最小角度之回转，以达到最快速之运动，可有效提高产能。

主权项

1.一种机械手臂同心式内外轴传动装置,其包括有: 一内轴,该内轴下端设有一伺服马达; 一外轴、一离合器及一煞车器; 一机械手臂,其与该内、外轴结合; 当该煞车器上电而离合器不上电致使外轴被固定 时,该伺服马达仅能驱动内轴,使内轴与外轴产生 角度差运动。2.一种机械手臂同心式内外轴传动 方法,其在一外轴中穿设一内轴,在该内轴下端设 有一伺服马达,另外设有煞车器与结合在该内轴的 离合器,藉由控制离合器与煞车器同时上电而作用 于外轴时,今外轴与内轴均无法被驱动,而藉由控 制该煞车器不上电但离合器上电时,则令内轴与外 轴结合在一起而可以由伺服马达予以同时驱动;又 藉由控制该刹车器上电但离合器不上电时,则该伺 服马达只能驱动该内轴旋转。图式简单说明: 第一图为显示本发明之剖面示意图; 第二图为显示本发明之动作示意图; 第三图为显示本发明之机械手臂之伸展示意图; 第四图为显示本发明之机构设计示意图; 第五图为显示习作创作之示意图。