发明名称 Low permeability non-planar ferromagnetic sputter targets
摘要
申请公布号 GB2353294(A) 申请公布日期 2001.02.21
申请号 GB20000016774 申请日期 2000.07.07
申请人 * PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY, INC. 发明人 WEI * XIONG;PETER * MCDONALD;HUNG-LEE * HOO
分类号 C23C14/34;C23C14/35;G11B5/851;H01F10/16;H01F41/18;(IPC1-7):C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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