| 发明名称 |
An electron gun for use in an electron beam exposure apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2338589(B) |
申请公布日期 |
2001.02.21 |
| 申请号 |
GB19990013068 |
申请日期 |
1999.06.04 |
| 申请人 |
* ADVANTEST CORPORATION |
发明人 |
YOSHIHISA * OOAE;TAKAMASA * SATOH;AKIO * YAMADA;HIROSHI * YASUDA |
| 分类号 |
H01J37/06;H01J29/48;H01J37/24;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/06;H01J37/304;H01J37/317 |
主分类号 |
H01J37/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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