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发明名称 INJECTOR FOR REACTOR
摘要
申请公布号 EP1076732(A1) 申请公布日期 2001.02.21
申请号 EP19990917436 申请日期 1999.04.13
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 LOTTES, CHARLES, R.;TORACK, THOMAS, A.
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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