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发明名称 METHOD FOR PRODUCING MICROMECHANICAL COMPONENTS
摘要
申请公布号 EP1076826(A1) 申请公布日期 2001.02.21
申请号 EP19990931009 申请日期 1999.05.04
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 AIGNER, ROBERT;OPPERMANN, KLAUS-GUENTER;KAPELS, HERGEN
分类号 B81C1/00;G01L9/00;G01P15/08;H01L21/302;H01L21/3065;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/08 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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