A METHOD OF ETCHING AN OPENING,申请号EP19990948557-传众专利搜索

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发明名称	A METHOD OF ETCHING AN OPENING
摘要
申请公布号	EP1076730(A1)	申请公布日期	2001.02.21
申请号	EP19990948557	申请日期	1999.05.06
申请人	LAURELL, THOMAS;NILSSON, JOHAN;WALLMAN, LARS;DROTT, JOHAN	发明人	LAURELL, THOMAS;NILSSON, JOHAN;WALLMAN, LARS;DROTT, JOHAN
分类号	B41J2/16;C23F1/02;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/02	主分类号	B41J2/16
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