发明名称 Negative photoresist composition
摘要
申请公布号 SG78400(A1) 申请公布日期 2001.02.20
申请号 SG19990004854 申请日期 1999.09.29
申请人 NITTO DENKO CORPORATION 发明人 HAYASHI SHUNICHI;HIGASHI KAZUMI
分类号 H05K3/18;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/038;G03F7/039;(IPC1-7):G03C1/72 主分类号 H05K3/18
代理机构 代理人
主权项
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