发明名称 |
A piezoelectric device and servo system |
摘要 |
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申请公布号 |
SG78372(A1) |
申请公布日期 |
2001.02.20 |
申请号 |
SG19990003220 |
申请日期 |
1999.06.26 |
申请人 |
DATA STORAGE INSTITUTE |
发明人 |
WEI GUO;YIMIN NIU;HUANG TONY |
分类号 |
H01L41/04;H02N2/04;(IPC1-7):H01L41/04 |
主分类号 |
H01L41/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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