发明名称 A piezoelectric device and servo system
摘要
申请公布号 SG78372(A1) 申请公布日期 2001.02.20
申请号 SG19990003220 申请日期 1999.06.26
申请人 DATA STORAGE INSTITUTE 发明人 WEI GUO;YIMIN NIU;HUANG TONY
分类号 H01L41/04;H02N2/04;(IPC1-7):H01L41/04 主分类号 H01L41/04
代理机构 代理人
主权项
地址