| 摘要 |
<p>본 발명은 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템에 관한 것으로, 파드 도어를 갖는 스탠더드 메커니컬 파드, 포트 도어를 갖는 스탠더드 메커니컬 포트 및 포트 도어와 파드 도어를 이송시키기 위한 Z축 아암을 구비한 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템에 있어서, 파드 도어에는 삽입구멍이 형성되어 있고, 포트 도어에는 삽입구멍에 선택적으로 삽입되어 스탠더드 메커니컬 파드를 소망하는 정위치에 배치시킴과 동시에 포트 도어를 파드 도어에 체결시키는 파드위치 결정핀이 마련되어 있다. 이러한 구성에 의해, 파드 도어와 커버 사이에 마련된 밀봉재의 점성으로 인한 포트 도어의 하강 타이밍과 파드 도어의 하강 타이밍의 불일치를 해소하여, 파드 도어의 상부에 위치한 캐리어 내의 웨이퍼들이 돌출되는 현상을 방지할 수 있다.</p> |
