| 摘要 |
<p>L'invention concerne un dispositif semiconducteur de fabrication/inspection capable d'effectuer un refroidissement total de manière uniforme et rapide. Ce dispositif semiconducteur de fabrication/inspection, dans lequel une base en céramique pourvue d'un générateur de chaleur à résistance est logée dans une ouverture d'un récipient de support inférieur, se caractérise en ce que le récipient de support est pourvu d'un conduit d'alimentation en fluide de refroidissement destiné à mettre l'intérieur de ce récipient de support en communication avec l'extérieur dudit récipient.</p> |
