| 摘要 |
본 발명은 드레인 영역에 가해지는 이온화 충격을 줄여 넓은 SOA(Safe Operation Area)를 확보하고 전류 구동 특성을 향상시킬 수 있도록한 스마트 파워 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 그 구성은 제 1 도전형 웰 영역내에 서로 다른 제 1,2,3 이온 주입 에너지와 제 1,2,3 도즈량으로 제 1,2,3차 이온 주입되어 형성되는 제 2 도전형 드리프트 영역과,상기 제 2 도전형 드리프트 영역내에 형성되는 소오스 영역,바디 콘택 영역과,상기 제 2 도전형 드리프트 영역에 이웃하여 형성되는 제 1 도전형 Dwell 영역과,상기 제 1 도전형 Dwell 영역내에 형성되는 드레인 영역과,전면에 형성되는 절연층들 그리고 그층들사이에 게재되어 형성되는 게이트 전극층과,상기 게이트 전극층의 일측 모서리와 상기 제 2 도전형 드리프트 영역 상측에 형성되는 필드 플레이트와,각각 소오스 영역,드레인 영역에 콘택되는 소오스 전극층,드레인 전극층을 포함하여 구성된다. |
