| 摘要 |
평면연마장치에 있어서의 정반수정용 드레서(6)에 부착된 부착물을 간단하고 확실하게 씻어낼 수 있는 세정장치를 얻을 수 있다. 하면에 드레싱부재(9)를 구비한 드레서(6)를 세정액에 침지시킨 상태에서 수용하기 위한 세정탱크(11)의 내부에, 버블링용의 에어노즐(15)과, 드레싱부재(9)에 미끄럼접촉하는 제1하면브러시(18)와, 드레싱부재(9) 이외의 부분(6a)에 미끄럼접촉하는 제2하면브러시(22a, 22b)를 설치하는 것과 동시에, 드레서(6)의 외측면에 접하는 측면브러시(25)를 설치한다. |
