| 摘要 |
<p>위치 설정 및 이동을 높은 정확도로 제어할 수 있는 장치를 개시한다. 상기 장치는, 정류형 선형 모터를 이용하여, 가이드리스 스테이지를 평면내의 한 긴 직선 방향으로 이동시킬 뿐만 아니라 적은 편요 회전으로 이동시킨다. 단일 음성 코일 모터를 수용한 캐리어/종동자는, 긴 직선 이동 방향으로 스테이지를 추종하도록 제어된다. VCM 은 전자기력을 제공하여 평면 내에서 긴 직선 이동 방향에 수직인 직선 방향으로 스테이지를 미소 변위로 이동시키고 적절한 정렬을 확보한다. 정류형 선형 모터중 하나는 자유롭게 부양된 구동 어셈블리에 장착되며, 상기 구동 어셈블리는 하나의 선형 모터가 편요 보정에 이용된 장치의 무게 중심을 유지하기 위한 반력에 의해서 움직이는 것으로서, 2 개의 VCM 을 이용하여 달성 가능하다.</p> |
