发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Feldemitters |
摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Feldemitters auf einem Feldemittersubtrat mit vorzugsweise streifenförmigen Kathoden, einem dielektrischen Film und Metall-Gates auf dem dielektrischen Film, die mit Öffnungen versehen sind, die sich über Öffnungen des dielektrischen Films befinden. DOLLAR A Erfindungsgemäß wird der Feldemitter als Kohlenstoff-Nanoröhren-Feldemitter durch Elektrophorese hergestellt. Dazu werden eine Elektrodenplatte und das Feldemittersubstrat voneinander beabstandet in ein Elektrophoresebad verbracht, das eine Kohlenstoff-Nanoröhren-Suspension enthält, und dann wird eine vorgegebene Vorspannung zwischen selbige angelegt, um bei Raumtemperatur Kohlenstoff-Nanoröhren-Partikel auf der durch die Öffnungen des dielektrischen Films freigelegten Oberfläche der Elektroden aufzubringen. Anschließend wird das Feldemittersubstrat mit den Kohlenstoff-Nanoröhren-Spitzen auf eine vorgegebene Temperatur erwärmt. DOLLAR A Verwendung zum Beispiel zur Herstellung von Elektronenemittern für Feldemissionsanzeigen.
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申请公布号 |
DE10020383(A1) |
申请公布日期 |
2001.02.15 |
申请号 |
DE2000120383 |
申请日期 |
2000.04.26 |
申请人 |
SAMSUNG SDI CO., LTD. |
发明人 |
CHOI, WON-BONG;CHUNG, DEUK-SEOK;KIM, HOON-YOUNG;KANG, JUNG-HO |
分类号 |
B82B3/00;C25D13/02;C25D13/10;C25D13/12;H01J1/30;H01J9/02;(IPC1-7):H01J9/02 |
主分类号 |
B82B3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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