摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Montagevorrichtung 10, insbesondere eine vollautomatische Montagevorrichtung zur Herstellung mikrosystemtechnischer Produkte sowie für Montageaufgaben in der Halbleiterindustrie, mit einem Montagetisch 12, mindestens einem Materialtransportsystem 38 zum Transport der mit Bauteilen zu bestückenden Produkte, mindestens einem auf dem Montagetisch 12 angeordneten Transportsystem 16, 18 sowie mindestens eine zwischen dem Transportsystem 16, 18 angeordnete und bewegbare Bauteiltransporteinheit 34 mit mindestens einem Montagekopf 36, wobei die Bauteiltransporteinheit 34 bzw. -einheiten auf einem oder mehreren, mittels des Transportsystems 16, 18 parallel zur Richtung des Bauteiltransports verfahrbaren Portalen 20 angeordnet ist bzw. sind. <IMAGE></p> |