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发明名称
摘要
申请公布号 JP2001502136(A) 申请公布日期 2001.02.13
申请号 JP19980517529 申请日期 1997.09.12
申请人 发明人
分类号 H01L41/09;H03H3/04;H03H9/17;(IPC1-7):H03H3/04 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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