发明名称 固体电解电容器及其制造方法
摘要 本发明提供一种于具有微细孔之阀作用金属表面上形成之介质被膜上设有固体电解质层之固体电解电容器,其特征乃将该固体电解质层之至少一部分构成为层状构造;尤其提供在具有特定之缩合环构造之导电性聚合物中(l)含有具有磺基阴离子及构造之磺基阴离子及其他阴离子之固体电解质层,及(2)含有具有磺酸基之磺酸类及其他阴离子之固体电解质层之固体电解电容器。
申请公布号 TW421808 申请公布日期 2001.02.11
申请号 TW087119685 申请日期 1999.06.29
申请人 昭和电工股份有限公司 发明人 小沼博;白根浩朗;门田隆二;井厚;古田雄司;山崎胜彦;大英树
分类号 H01G9/00;H01B1/12 主分类号 H01G9/00
代理机构 代理人 杜汉淮 台北巿吉林路二十四号九楼I室
主权项 1.一种于具有微细孔之阀作用金属表面上形成之 介质被膜上设有固体电解质层之固体电解电容器, 其特征乃在该固体电解质层之至少一部分系呈层 状构造。2.如申请专利范围第1项之固体电解电容 器,其中该固体电解质层系形成于该介质被膜之外 部表面或外部表面及微细孔部分内。3.如申请专 利范围第1项之固体电解电容器,其中该层状构造 之层间之至少一部分具有空间部。4.如申请专利 范围第1-3项之任一项之固体电解电容器,其中形成 该层状构造之固体电解质之各层的厚度在0.01-5m 之范围,而该固体电解质层之全体厚度在1-200m范 围。5.如申请专利范围第1-3项之任一项之固体电 解电容器,其中该固体电解质层系由含有电子共 轭系聚合物及/或其他种导电性聚合物之组成物所 构成。6.如申请专利范围第5项之固体电解电容器, 其中该导电性聚合物系由如下通式(I)所示构造之 反覆单元构成: (I) 式中:R1及R2为分别独立的代表氢原子、含C1-C6之直 链或支链饱和或不饱和烃基、含C1-C6之直链或支 链饱和或不饱和烷氧基、羟基、卤原子、硝基、 氰基、三卤甲基、苯基或被取代苯基,或R1及R2亦 可为互相在任意之位置结合而形成至少一个以上 之5-7节环之饱和或不饱和环状构造之二价基; X代表S、O、Se、Te或NR3,其中R3为氢原子、C1-C6之直 链或支链饱和或不饱和烃基、苯基、或C1-C6之直 链或支链饱和或不饱和烷氧基; R1,R2及R3所代表之烷基或烷氧基之链中亦可含有羰 基键、醚键、酯键、醯胺键及亚氨基键;及 代表0-1之范围。7.如申请专利范围第5项之固体 电解电容器,其中该导电性聚合物系由如下通式(II )所示构造之反覆单元构成: (II) 式中:R4及R5为分别独立的代表氢原子C1-C6之直链或 支链饱和或不饱和烃基、或代表C1-C6之烃基互相 在任意之位置结合而形成含有氧之至少一个以之5 -7节环之饱和烃之环状构造之取代基;该环状构造 包含具有可被取代之乙烯撑键及可被取代之苯撑 键构造者; 代表0-1之范围。8.如申请专利范围第5项之固体 电解电容器,其中该导电性聚合物系系由如下通式 (III)所示构造之反覆单元构成之缩合杂多环聚合 物: (III) 式中:R6.R7.R8.R9.R10及R11为分别独立的代表选自氢原 子、C1-C10之直链或支链烷基、烷氧基或烷酯基、 卤原子、硝基、氰基、1级(伯)、2级(仲)或3级(叔) 胺基、三卤甲基、苯基及取代苯基之一价基,或可 为R6.R7.R8.R9.R10及R11之烃链互相在任意之位置结合 而与受此等基取代之碳原子一起形成至少一个以 上之3-7节环之饱和或不饱和烃之环状构造之二价 基; R6.R7.R8.R9.R10及R11所代表之烷基、烷氧基、烷酯基 或由该等基形成之环状烃链中亦可含有任意数之 羰基键、醚链、酯键、醯胺键、硫醚键、亚硫醯 键、磺醯键及亚胺键; K为被吩环及带有取代基R6-R9之苯环包围之缩合 环之数,代表0或1-3之整数,但K=0之衍生物中,R6-R9之 全部代表氢原子之构造体除外,又缩合环亦可含有 1-2个之氮原子或N-氧化物; 代表0-1之范围; Z代表阴离子; j为Z之价数,代表1或2。9.如申请专利范围第8项之 固体电解电容器,其中通式(III)所示之缩合杂多环 聚合物系K=0之下示通式(IV)缩合杂多环聚合物: (IV) 式中:R6.R7.R8.R9.、Z及j与通式(III)所定义相同,而 该缩合环可含有1-2个之氮原子或N-氧化物。10.如 申请专利范围第9项之固体电解电容器,其中通式( IV)所示之缩合杂多环聚合物系选自5,6-二氧化亚甲 基一异硫撑聚合物及5,6-二甲氧基一异硫撑聚 合物之者。11.如申请专利范围第8项之固体电解电 容器之通式(III)所示之缩合杂多环聚合物系K=1之 下示通式(V)缩合杂多环聚合物: (V) 式中:R6.R7.R8.R9.R10.R11.、Z及j与通式(III)所定义者 相同,而该缩合环可含有1-2个之氮原子或N-氧化物 。12.如申请专利范围第5项之固体电解电容器,其 中该导电性聚合物为导电性聚吩,而含有该导电 性聚吩之阻成物中含有硫酸离子0.1-10莫耳范围 且含有磺酸离子1-50莫耳范围。13.如申请专利范 围第12项之固体电解电容器,其中该导电性聚吩 系由申请专利范围第7项之通式(II),所示构造之反 覆单元构成者。14.如申请专利范围第12项之固体 电解电容器,其中该硫酸离子系源自过硫酸盐之还 原物。15.一种于具有微细孔之阀作用金属表面上 形成之介质被膜上设有导电性聚合物阻成物构成 之固体电解层之固体电解电容器,其特征乃在该组 成物含有在其分子内具有1个以上之磺基阴离子基 及构造之磺基阴离子0.1-50莫耳且含有该磺基 阴离子以外之阴离子0.1-10莫耳范围者。16.如申 请专利范围第15项之固体电解电容器,其中该组物 中之导电性聚合物之主链系含有如下通式(I)所示 构造之反覆单元: (I) 式中:R1及R2为分别独立的代表氢原子、含C1-C6之直 链或支链饱和或不饱和烃基、含C1-C6之直链或支 链饱和或不饱和烷氧基、羟基、卤原子、硝基、 氰基、三卤甲基、苯基或被取代苯基,或R1及R2亦 可为互相在任意之位置结合而形成至少一个以上 之5-7节环之饱和或不饱和环状构造之二价基; X代表S、O、Se、Te或NR3,其中R3为氢原子、C1-C6之直 链或支链饱和或不饱和烃基、苯基、或C1-C6之直 链或支链饱和或不饱和烷氧基; R1,R2及R3所代表之烷基或烷氧基之链中亦可含有羰 基键、醚键、酯键、醯胺键及亚氨基键;及 代表0-1之范围。17.如申请专利范围第16项之固 体电解电容器,其中通式(I)所示之反覆单元具有如 下通式(II)所示构造: (II) 式中;R4及R5为分别独立的代表氢原子、C1-C6之直链 或支链饱和或不饱和烃基、或代表C1-C6之烃基互 相在任意之位置结合而形成含有氧之至少一个以 上之5-7节环之饱和烃之环状构造之取代基;该环状 构造包含具有可被取代之乙烯撑键及可被取代之 苯撑键构造者; 代表0-1之范围。18.如申请专利范围第15项之固 体电解电容器,其中该磺基阴离子之基本骨架系 选自对-苯、邻-苯、1,2-、1,4-、2,6- 、9,10-、1, 2-、1,4- 、5,6- 酯、6,12- 、并、、莰、2,3-莰烷二、9,10-菲 、2,7-芘之少一种。19.如申请专利范围第18项 之固体电解电容器,其中该磺基系含有在分子内 具有1个以上之磺基阴离子基及构造之磺基及 由该磺基产生之氢构造体及/或彼等之氮 (quinhydrone)。20.如申请专利范围第15-19项之任一项 之固体电解电容器,其中该磺基阴离子以外之阴 离子系氧化剂之退原体阴离子。21.如申请专利范 围第20项之固体电解电容器,其中该氧化剂之还原 体阴离子为硫酸离子。22.一种于具微细孔之阀作 用金属表面上形成之介质被膜上设有导电聚合物 组成物层构成之固体电解质层之固体电解电容器, 其中该组成物含有具有一个磺酸基之磺酸或由 其衍生选出之至少一种单磺酸阴离子作为掺杂 物(dopant)。23.如申请专利范围第22项之固体电解电 容器,其中该单磺酸阴离子之含量对导电性聚合 物之全体反覆单元言,系0.1-50莫耳范围。24.如申请 专利范围第22或23项之固体电解电容器,其中除了 含有上述之单磺酸阴离子之外,尚含有0.1-10莫耳 之具有掺杂物性能之氧化剂的还原体阴离子。25. 如申请专利范围第24项之固体电解电容器,其中该 氧化剂之还原体阴离子为硫酸离子。26.如申请专 利范围第22项之固体电解电容器,其中该磺酸之 衍生物系环之氢被C1-C12之直链或支链之饱和或 不饱和烃基或烷氧基之至少一个取代之单磺酸 。27.如申请专利范围第22项之固体电解电容器,其 中该导电性聚合物之主链系含有如下通式(I)所示 构造之反覆单元: (I) 式中:R1及R2为分别独立的代表氢原子、含C1-C6之直 链或支链饱和或不饱和烃基、含C1-C6之直链或支 链饱和或不饱和烷氧基、羟基、卤原子、硝基、 氰基、三卤甲基、苯基或被取代苯基,或R1及R2亦 可为互相在任意之位置结合而形成至少一个以上 之5-7节环之饱和或不饱和环状构造之二价基; X代表S、O、Se、Te或NR3,其中R3为氢原子、C1-C6之直 链或支链饱和或不饱和烃基、苯基、或C1-C6之直 链或支链饱和或不饱和烷氧基; R1,R2及R3所代表之烷基或烷氧基之链中亦可含有羰 基键、醚键、酯键、醯胺键及亚氨基键;及 代表0-1之范围。28.如申请专利范围第27项之固 体电解电容器,其中该通式(II)之反覆单元系如下 通式(II)所示构造之构造者: (II) 式中:R4及R5为分别独立的代表氢原子C1-C6之直链或 支链饱和或不饱和烃基、或代表C1-C6之烃基互相 在任意之位置结合而形成含有氧之至少一个以之5 -7节环之饱和烃之环状构造之取代基;该环状构造 包含具有可被取代之乙烯撑键及可被取代之苯撑 键构造者; 代表0-1之范围。29.一种于具有微细孔之阀作用 金属表面形成之介质被膜上设有固体电解质层之 固体电解电容器之制造方法,包括:将如下通式(VI) 所示之缩合杂多环化合物: (VI) 式中:R6.R7.R8.R9.R10及R11为分别独立的代表选自氧原 子、C1-C10之直链或支链烷基、烷氧基或烷酯基、 卤原子、硝基、氰基、1级(伯)、2级(仲)或3级(叔) 胺基、三卤甲基、苯基及取代苯基之一价基,或可 为R6.R7.R8.R9.R10及R11之烃链互相在任意之位置结合 而与受此等基取代之碳原子一起形成至少一个以 上之3-7节环之饱和或不饱和烃之环状构造之二价 基; R6.R7.R8.R9.R10及R11所代表之烷基、烷氧基、烷酯基 或由该等基形成之环状烃链中亦可含有任意数之 羰基键、醚链、酯键、醯胺键、硫醚键、亚硫醯 键、磺醯键及亚胺键; K为被吩环及带有取代基R6-R9之苯环包围之缩合 环之数,代表0或1-3之整数,但K=0之衍生物中,R6-R9之 全部代表氢原子之构造体除外,又缩合环亦可含有 1-2个之氮原子或N-氧化物; 代表0-1之范围; Z代表阴离子; j为Z之价数,代表1或2 单独或与具有掺杂物性能之其他阴离子一起,藉氧 化剂之作用在形成于具有微细孔之阀作用金属表 面之介质被膜上进行聚合,而于该介质被膜上形成 至少一部分为层状构造之固体电解质层。30.如申 请专利范围第29项之固体电解电容器之制造方法 中,其中该缩合杂多环化合物系选自二氢异硫、 二氢并[2,3-c]吩及三氢嗯并[3,4-b]恶衍 生物中之至少一种。31.如申请专利范围第29项之 固体电解电容器之制造方法,其中该缩合杂多环化 合物系选自1,3-二氢异硫、5,6-二氧代亚甲基-1,3- 二氢异硫、5,6-二甲氧基-1,3-二氢异硫、1,3-二 氢并[2,3-c]吩及1,3-二氢嗯并[3,4-b]恶之 至少一种。32.一种于具有微细孔之阀作用金属表 面形成之介质被膜上设有固体电解质层之固体电 解电容器之制造方法,包括:将如下通式(VII)所示之 缩合杂多环化合物: (VII) 式中:R6.R7.R8.R9.R10及R11及K与申请专利范围第29项所 述者具有相同意义,而缩合环亦可含有1-2个氮原子 或N-氧化物; 单独或与具有掺杂物性能之其他阴离子,藉氧化剂 之作用在形成于具有微细孔之阀作用金属表面之 介质被覆上进行聚合,而于该介质被膜上形成至少 一部分为层状构造之固体电解质层之申请专利范 围第1项所述之固体电解电容器之制法。33.如申请 专利范围第32项之固体电解电容器之制造方法,其 中该缩合杂多环化合物系选自二氢异硫-2-氧化 物、二氢并[2,3-c]吩-2-氧化物及二氢嗯并(3, 4-b)恶-2-氧化物衍生物之至少一种。34.如申请 专利范围第32项之固体电解电容器之制造方法,其 中该缩合杂多环化合物系选自1,3-二氢异硫-2-氧 化物、5,6-二氧化代至甲基-1,3-二氢异硫-2-氧化 物、5,6-二甲基-1,3-二氢异硫-2-氧化物、1,3-二氢 并[2,3-c]硫-2-氧化物及1,3-二氢嗯并[3,4-b] 恶-2-氧化物之至少一种。35.一种于具有微细孔 之关作用金属表面形成之介质被膜上,以导电性聚 硫组成物作高电解质,设有固体电解质层之固体 电解电容器之制造方法,包括:将如下通式(IX)所示 之硫单体: (IX) 置于磺酸阴离子之存在下,利用过硫酸盐之作用 聚合而于介质被膜上形成至少一部分为层状构造 之固体电解质层之申请专利范围第1项之固体电解 电容器之制法。36.如申请专利范围第35项之固体 电解电容器之制造方法,其中该过硫酸盐系过硫酸 铵或过磺酸钾。37.如申请专利范围第29-36项中之 任一项所述之固体电解电容器之制造方法,其系在 介质层之金属氧化物多孔质内,利用氧化剂之作用 反覆实行至少二次之聚合为其特征者。38.一种于 具有微细孔之阀作用金属表面形成之介质被膜上 设有导电性聚合物构成之固体电解质层之固体电 解电容器之制造方法,包括:将如通式(VIII)所示之 单体化合物: (VIII) 式中:R1.R2及X如同上述申请专利范围第16项所定义 于能提供磺基阴离子之化合物之存在下,利用氧 化剂之作用聚合而在介质被膜上形成至少一部分 为层状构造之固体电解质层之申请专利范围第15 项所述之固体电解电容器之制法。39.如申请专利 范围第38项之固体电解电容器之制造方法,其中通 式(VIII)之单体化合物系下式(IX)所示之化合物: (IX) 式中R4及R5如同上述如申请专利范围第17项所定义 。40.一种于具有微细孔之阀作用金属表面上形成 之介质被膜上设有导电性聚合物构成之固体电解 质层之固体电解电容器之制造方法,其系利用氧化 剂之作用使单体化合物在介质被膜上进行聚合形 成固体电解质层之方法,包括:将形成有介质被膜 层之关作用金属浸渍含有该单体化合物之溶液之 步骤,及浸渍于含有氧化物及阴离子之溶液之步 骤为特征之申请专利范围第15项之固体电解电容 器之制法。41.如申请专利范围第40项之固体电解 电容器之制造方法,包括:将形成有介质被膜层之 阀作用金属浸渍于含有单体化合物之溶液后,再浸 渍于含有氧化剂及磺基阴离子之溶液之步骤。 42.如申请专利范围第41项之固体电解电容器之制 造方法,包括将形成有介质被膜层之阀作用金属浸 渍于含有单体化合物之溶液后,再浸渍于含有氧化 剂及磺基阴离子之溶液之步骤多次地反覆实行 之步骤。43.如申请专利范围第42项之固体电解电 容器之制造方法,包括:其中对经过多次反覆浸渍 后之该形成有介质被膜层之阀作用金属进行洗净 及乾燥之步骤。44.如申请专利范围第40项之固体 电解电容器之制造方法,包括:将形成有介质被膜 层之阀作用金属浸渍于含有氧化剂及磺基阴离 子之溶液后,再浸渍于含有单体化合物之溶液之步 骤。45.如申请专利范围第44项之固体电解电容器 之制造方法,包括:将形成有介质被膜层之阀作用 金属浸渍于含有氧化剂及磺基阴离子之溶液后, 再浸渍于含有单体化合物之溶液之步骤多次比反 覆实行之步骤。46.如申请专利范围第45项之固体 电解电容器之制造方法,包括:对上述经过多次反 覆浸渍后之该形成有介质被膜层之阀作用金属进 行洗净及乾燥之步骤。47.一种于具有微细孔之阀 作用金属表面形成之介质被膜上设有由导电性聚 合物组成物构成之固体电解质层之固体电解电容 器之制造方法,系利用氧化剂之作用使单体化合物 在介质被膜上进行聚合形成固体电解质层之方法, 其特征包括:将该形成有介质被膜层之阀作用金属 浸渍于含有氧化剂之溶液之步骤及浸渍于含有磺 基阴离子之溶液之步骤之申请专利范围第15项 之固体电解电容器之制法。48.如申请专利范围第 47项之固体电解电容器之制造方法,包括:将形成有 介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有氧化剂之溶 液后,再浸渍于含有单体化合物及磺基阴离子之 溶液之步骤。49.如申请专利范围第48项之固体电 解电容器之制造方法,包括:将形成有介质被膜层 之阀作用金属浸渍于含有氧化剂之溶液后,再浸渍 于含有单体化合物及磺基阴离子之溶液之步骤 多次地反覆实行之步骤。50.如申请专利范围第49 项之固体电解电容器之制造方法,包括:对上述对 经过多次反覆浸渍后之该形成有介质被膜层之阀 作用金属进行洗净及乾燥之步骤。51.如申请专利 范围第47项之固体电解电容器之制造方法,包括:将 形成有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有单体 化合物及磺基阴离子之溶液后,再浸渍于含有氧 化剂之溶液之步骤。52.如申请专利范围第51项之 固体电解电容器之制造方法,包括:将形成有介质 被膜层之阀作用金属浸渍于含有单体化合物及磺 基阴离子之溶液后,再浸渍于含有氧化剂之溶液 之步骤多次地反覆实行之步骤。53.如申请专利范 围第52项之固体电解电容器之制造方法,包括:对上 述经过多次反覆浸渍后之该形成有介质被膜层之 阀作用金属进行洗净及乾燥之步骤。54.如申请专 利范围第38-53项之任一项之固体电解电容器之制 造方法,其中之氧化剂为过硫酸盐。55.如申请专利 范围第40-53项之任一项之固体电解电容器之制造 方法,其中之氧化剂为过硫酸盐,而单体化合物为 具有下示通式(VIII)之化合物: (VIII) 式中:R1.R2及X系如上述申请专利范围第16项所定义 者。56.如申请专利范围第55项之固体电解电容器 之制造方法,其中式(VIII)所示之单体化合物为如下 通式(IX)所示之化合物 (IX) 式中:R4.R5系如上述申请专利范围第11项所定义者 。57.一种于具有微细孔之阀作用金属表面形成之 介质被膜上设有由导电性聚合物组成物构成之固 体电解质层之固体电解电容器之制造方法,包括: 利用氧化剂之作用使单体化合物在介质被膜上进 行聚合,其系含如下通式(VIII)之化合物: (VIII) (式中:R1.R2及X系如上述申请专利范围第27项定义者 ) 于能提供磺酸或其衍生物中选出之至少一种 单磺酸阴离子之化合物的存在下进行聚合以形成 固体电解质层为其特征之申请专利范围第22项之 固体电解电容器之制法。58.如申请专利范围第57 项之固体电解电容器之制造方法,其中式(VIII)所示 之单体化合物具有如下通式(IX)所示之构造: (IX) (式中:R4.R5系如上述申请专利范围第28项所定义者) 。59.一种于具有微细孔之阀作用金属表面形成之 介质被膜上设有由导电性聚合物组成物构成之固 体电解质层之固体电解电容器之制造方法,系利用 氧化剂之作用使单体化合物在介质被膜上进行聚 合形成固体电解质层之方法,其特征包括:将形成 有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有单体化合 物之步骤及浸渍于含有氧化剂及由具有一个磺酸 基之磺酸或其衍生物选出之至少一种单磺酸 阴离子之溶液之步骤之申请专利范围第22项之固 体电解电容器之制法。60.如申请专利范围第59项 之固体电解电容器之制造方法,包括: 将形成有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有单 体化合物之溶液后,再浸渍于含有氧化剂及由具有 一个磺酸基之磺酸或其衍生物选出之至少一种 单磺酸阴离子之溶液之步骤。61.如申请专利范 围第60项之固体电解电容器之制造方法,包括: 将形成有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有单 体化合物之溶液后,再浸渍于含有氧化剂及由具有 一个磺酸基之磺酸或其衍生物选出之至少一种 单磺酸阴离子之溶液之步骤多次反覆地实行之 步骤。62.如申请专利范围第61项之固体电解电容 器之制造方法,包括:对上述经过多次反覆浸渍后 之该形成有介质被膜层之阀作用金属进行洗净及 乾燥之步骤。63.如申请专利范围第59项之固体电 解电容器之制造方法,包括: 将形成有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有氧 化剂及由具有一个磺酸基之磺酸或其衍生物选 出之至少一种单磺酸阴离子之溶液后有浸渍于 含有单体化合物之溶液之步骤。64.如申请专利范 围第63项之固体电解电容器之制造方法, 将形成有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有氧 化剂及由具有一个磺酸基之磺酸或其衍生物选 出之至少一种单磺酸阴离子之溶液后,再浸渍于 含有单体化合物之溶液之步骤多次地反覆实行之 步骤。65.如申请专利范围第64项之固体电解电容 器之制造方法,包括: 将形成有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有氧 化剂及由具有一个磺酸基之磺酸或其衍生物选 出之至少一种单磺酸阴离子之溶液后,再浸渍于 含有单体化合物之溶液之步骤多次地反覆实行之 后,实行洗净及乾燥之步骤。66.一种于具有微细孔 之阀作用金属表面形成之介质被膜上设有导电性 聚合物组成物构成之固体电解质层之固体电解电 容器之制造方法,包括: 利用氧化剂之作用使单体化合物在介质被膜上进 行聚合以形成固体电解质层,其特征为具有将形成 有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有氧化剂之 溶液之步骤,及浸渍于含有单体化合物及由具有一 个磺酸基之磺酸或其衍生物选出之至少一种 单磺酸阴离子之溶液之步骤之申请专利范围第22 项所述之固体电解电容器之制法。67.如申请专利 范围第66项之固体电解电容器之制造方法,包括: 将形成有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有氧 化剂之溶液后,再浸渍于含有单体化合物及由具有 一个磺酸基之磺酸或其衍生物选出之至少一种 单磺酸阴离子之溶液之步骤。68.如申请专利范 围第67项之固体电解电容器之制造方法,包括: 将形成有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有氧 化剂之溶液后,再浸渍于含有单体化合物及由具有 一个磺酸基之磺酸或其衍生物选出之至少一种 单磺酸阴离子之溶液之步骤多次地反覆实行之 步骤。69.如申请专利范围第68项之固体电解电容 器之制造方法, 将形有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有氧化 剂之溶液后,再浸渍于含有单体化合物及由具有一 个磺酸基之磺酸其衍生物选出之至少一种单 磺酸阴离子之溶液之步骤多次地反覆实行之后,实 行洗净及乾燥之步骤。70.如申请专利范围第66项 之固体电解电容器之制造方法,其特征为具有将形 成有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有单体化 合物及由具有一个磺酸基之磺酸或其衍生物选 出之至少一种单磺酸阴离子之溶液后,再浸渍于 含有氧化剂之溶液之步骤。71.如申请专利范围第 70项之固体电解电容器之制造方法,包括: 将形成有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有单 体化合物及由具有一个磺酸基之磺酸或其衍生 物选出之至少一种单磺酸阴离子之溶液后,再浸 渍于含有氧化剂之溶液之步骤多次地反覆实行之 步骤。72.如申请专利范围第71项之固体电解电容 器之制造方法,包括: 将形成有介质被膜层之阀作用金属浸渍于含有单 体化合物及由具有一个磺酸基之磺酸或其衍生 物选出之至少一种单磺酸阴离子之溶液后,再浸 渍于含有氧化剂之溶液之步骤多次地反覆实行之 后,实行洗净及乾燥之步骤。73.如申请专利范围第 59-72项之任一项之固体电解电容器之制造方法,其 中该单体化合物系如下通式(VIII)所示之化合物: (VIII) (式中:R1.R2及X系如上述申请专利范围第27项所定义 者)。74.如申请专利范围第73项之固体电解电容器 之制造方法,其中该通式(VIII)所示之单体化合物系 如下通式(IX)所示之化合物: (IX) (式中:R4.R5系如上述申请专利范围第28项所定义者) 。75.如申请专利范围第57-72项之任一项之固体电 解电容器之制造方法,其中该氧化剂为过硫酸盐。 图式简单说明: 第一图为固体电解电容器之一例之纵断面图; 第二图为本发明实施例1之具有形成有导电性聚合 物层之微细孔构造之铝箔断面之扫描电子显微镜 照片(2,000倍); 第三图为第二图之微细孔构造之外部表面之部分 之放大扫描电子显微镜照片(10,000倍); 第四图为第三图之微细孔部分之放大扫描电子显 微镜照片(50,000倍)。
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