| 摘要 |
<P>L'objet de l'invention concerne un dispositif comprenant une série de dispositifs élémentaires d'excitation de plasma (3), constitués chacun par un applicateur filaire (4) d'une énergie micro-onde, dont une extrémité est reliée à la source de production (E) et dont l'autre extrémité est équipée en tant que moyens pour créer au moins une surface à champ magnétique constant et d'intensité correspondant à la résonance cyclotronique électronique, d'au moins un dipôle magnétique (5) monté à l'extrémité (41 ) de l'applicateur micro-ondes, de manière à assurer l'oscillation entre les pôles des électrons accélérés à la résonance cyclotronique électronique, en vue de créer une zone de diffusion (Z) de plasma située à l'opposé de l'extrémité (41 ) de l'applicateur par rapport audit dipôle, les dispositifs élémentaires d'excitation (3) étant répartis entre eux et en relation de proximité de la surface d'utilisation (Su ), en vue de créer ensemble un plasma uniforme pour la surface d'utilisation.</P> |
